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ITO小圆靶
主要用途
蒸镀制备LED行业ITO导电膜。
物理及化学特性
按图放大
化 学 式
：
In
2
O
3
/SnO
2
相对密度
：
62%±2 & >=98%
晶 粒 度
：
5~15µm
电 阻 率
：
0.1×10
-3
·cm
线热胀系数
：
8.2×10
-3
K
-1
纯 度
：
>=99.99%
外 观
：
绿色（低密度） & 黑色（高密度）
不 纯 度
（单位：ppm）
：
元素名称
Al
Sb
Cd
Cu
Fe
Pb
Ni
Si
Zn
Ba
含量 (<=)
5
5
5
10
10
10
10
15
5
5
产品检测方法
晶 粒 度
：
扫描电镜（SEM）观察。
纯 度
：
ICP—AES分析测试杂质含量。
密 度
：
手测法（千分尺、分析天平） & 排水法 。
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